矽晶圓製作中應用的超純水設備如何?
熟悉半導體領域的人都知道矽晶圓,矽晶圓作為半導體電路的核心組件,是一種承載物,為了製成半導體積體電路的原材料。所以,半導體質量的好壞與矽晶圓生產息息相關。
精品视频一区二区三三区四区發現為了保證矽晶圓質量,其清洗用水多為高質量的超純水,因為隻有超純水作為清洗用水才能保證矽晶圓的品質,保證矽片無雜質吸附,那麽什麽樣的超純水設備才能產出高質量的超純水呢?
采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床的工藝組合形式的超純水設備方可製備出高質量的超純水。這類矽晶圓超純水設備具有高效低能、運行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運行的時間長等優點。設備應用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學品,不僅減少了化學品運輸問題,同時降低了係統運行費用。本模塊不會有酸堿廢液產生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理係統產出的濃水完全可以回收再利用。
矽晶圓超純水設備還具有無需樹脂再生,自動化性能強,無需人工操作等優勢。設備能夠連續穩定的製備品質優良的超純水,采用的設計結構相對靠緊,所以其占地非常小,可以為企業節省很多空間,在符合矽晶圓生產用水水質標準的同時可以使水資源的利用率達到80%左右,有效提升了水資源利用率。
隨著科技的不斷進步,半導體行業不斷的發展,我國對於該行業的政策支持,使得矽晶圓的市場需求也在不斷增加,超純水的需求也在悄然的增加。
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