半導體行業應用超純水設備，實現清洗用水的高純度

時間：2023-11-13

　　半導體行業的發展麵臨著一些挑戰。其中之一是半導體的製造需要使用大量的水資源。在半導體的製造過程中，需要使用超純水來清洗半導體芯片，去除表麵殘留的微粒和金屬離子。因此，超純水設備的性能對半導體的製造質量有著重要的影響。

　　據了解，在半導體的製造過程中，需要保證其生產的清潔程度，所以使用的超純水設備產出的超純水作為清洗用水，其出水水質可以達到電子級或工業級的水質標準。一旦水質不純，就會導致半導體芯片表麵殘留的微粒和金屬離子不能完全去除，從而影響半導體的性能和質量。因此，超純水設備的出水水質對半導體的製造至關重要。

超純水設備

　　目前市麵上常用的超純水設備應用反滲透工藝和EDI係統相結合的工藝來製取超純水。該設備出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)，具有環保、經濟、發展潛力巨大等諸多優勢。具體優勢如下：

　　1、超純水設備內應用膜技術法，在保證係統高回收率的同時，有效提高係統的產水水質。

　　2、超純水設備可以連續穩定地製備出質量良好的超純水，不會因為樹脂再生問題而停止運行，設備結構設計比較嚴密，所以其占地麵積非常小，可以為企業節省大量空間。

　　3、超純水設備內應用的EDI係統無須酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式。該係統運行成本低、自動化程度高，可連續工作，出水水質好且穩定。

　　4、超純水設備遇故障能夠立即自停，具有自動保護功能，且具有能耗低、水利用率高等優勢。

　　總之，超純水設備在半導體行業中具有非常重要的應用價值，可有效實現清洗用水的高純度。它不僅可以清洗半導體芯片表麵的微粒和金屬離子，還可以製備高純度的化學試劑。同時，超純水設備也需要符合半導體製造過程中的嚴格要求，以保證出水水質的穩定性和可靠性。

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　　編輯：柒柒技術：米

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